“顾松去沪海了？”
田德宇点了点头：“说是过去处理流片和工艺的前期工作。我担心，沪海私底下提什么条件。”
柳良木沉吟了一会：“避免不了。武湖的基础确实比别人差，但芯火科技已经确定落户武湖，我们把该做的工作做好。先把规划好的地尽快安排程序，把基建工作做好。德宇，明天他的助理和负责筹建的廖总一起过来，这一趟考察，关系到厂区的设计规划什么时候能出来，要麻烦你协调好各单位了。”
“我会盯紧的。”
柳良木说道：“暂时先兼着这个工作，你挂帅光电产业带的规划，服务好芯火科技的尽快落地。相关课题的科研这一块，还要组织武湖的科研院所研究一下，能不能尽量多参与一些。这件事关乎中湖百年发展，下一阶段还有更重的担子要交给你。”
田德宇心中一动，平静地说：“这个事情我一定尽心尽责，不负省里的重托。”
柳良木停了一下，问道：“顾松有没有提到，什么时候回中湖？”
“说是沪海行程结束后，会回燕京一趟，参加完公司年会就回永宁。时间估计是20号左右。”
“只有半个月啊……”柳良木蹙着眉头，说道，“芯火科技的奠基赶得上这个时间吗？”
“公司注册的程序、土地拍卖的程序……我来组织吧。”田德宇估摸了一下，还是点了点头。
“好，趁此机会，要把光电产业带的初步规划思路向领导汇报。王邦元老很重视这个项目，不说今年能投产的话，今年内，芯火科技需要建好。争取明年这个时候，光电产业带有一个新的面貌。”
田德宇笑了笑说：“那永宁那边也需要加把力了。”
柳良木也露出笑容来：“这就看永宁班子的能耐了。顾松是家乡人，他在中湖的规划不少。有些能先落地的，可以开始考虑嘛。”
“回头我和他们聊一聊。”
……
中湖那边担心沪海对顾松有其他拉拢的手段，顾松其实一直泡在沪海微电子装备和华芯国际。
关于浸润式光刻的技术难题，顾松脑子里自然有全套解决方案。
不管是浸润液体的种类，还是浸没方式、气泡消除、污染沉积，都有办法能够解决。
但问题是大数值孔径投影物镜和偏振光的控制。
这两个问题，就涉及到整个光刻机中最昂贵最复杂的部件了。
几十片各种规格的镜片，每一片都得用高纯度透光材料进行高质量抛光，镜片表面稍微有一点曲度不对，或者镜片里的杂质产生衍射折射不对，再聚焦后的图像缺陷会成倍放大。
且不说对镜片材质和加工精度的事，这玩意，采用传统的方式，不论镜头数量如何堆叠、如何搭配，都难以达到浸润式光刻所需要的孔径。
但折反式投影物镜，就更复杂多了。
顾松倒是能给出图纸，但问题是现在造不出来。镜片的研磨、其他零部件加工和组装的精度，都达不到那个水平。
这玩意，难就难在精度。有人曾打过比喻，说相当于两架大飞机从起飞到降落，始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀，在另一架飞机的米粒上刻字，不能刻坏了。
真实的情况比这还要夸张，这可是纳米级的操作，头发丝千分之一的尺度啊。
达到这种精度的镜片，都是手工打磨。一个镜面的表面被分为数万个点，每个点的误差在十位数的纳米级别。
绝对的圣手！
阿斯麦尔也不是万能的，他也是到处采购最好的零部件，最后集成起来的。但问题是，这些最好的零部件，他没法采购到啊。
脑子里是有黑科技全书，可这玩意没办法直接操刀加工。
反倒是偏振光的控制，相对还简单一些，虽然也是非常精密的设计和加工。
“牛总，如果我能给出全套的设计图纸和工艺方案，你们对镜头加工和组装有把握吗？”
牛俊明确认道：“全套设计图纸和工艺方案？”
顾松不管他的反应，只管肯定地点头。
牛俊明脸上神色变幻，最后咬牙说道：“这个只能堆人力了，靠数量来拼。”
这也是事实，顾松也没办法苛求：“好，这是一个专门的课题。只要这一关过去了，浸润式光刻需要的投影物镜和供液装置就突破了。”
实在不行的话，就看能不能把问题再细化，从老婆那里再敲诈点什么工艺技巧出来。
章儒京觉得脚很软：“非得动投影物镜吗？这玩意坏了，就相当于整台机器废了啊。”
顾松叹了一口气：“怪不得研发这玩意烧钱，15亿太少了，光一台光刻机都烧不出来。”
“美得你！要是15亿就能烧出一台光刻机，大把的人就丢钱去烧了。”章儒京翻着白眼，试图做最后的努力，“就不能先搞250纳米制程的吗？”
“那个简单，高制程总得突破啊。”
“那个简单……”章儒京气急，“简单的你倒是先搞定啊，我这边随时可以配合你。”
“我这不是人还没来吗？等青山从武湖那边过来，就开始攻关250纳米的流片。”
“你设计做好了？”
顾松奇怪地看着他：“定好了这个流片规格，设计当然做好了。”
章儒京吸着凉气：“你这个实验室里真不是人，不是光工艺理论弄清楚了？连240纳米制程的存储芯片都设计好了？设计容量有多大？”
“流片的这枚简单点，存储单元8层，封装4层，单颗4g的容量。”
“4g……”章儒京喃喃失语，这可是在250纳米制程下做出来的容量。
180纳米的呢？130纳米的呢？单颗容量不得32g？
现在量产的顶级闪存才512m，03年能量产1g的不？
u盘用的低级闪存，主流的才64m、128m啊！
这真是翻天覆地的变化！
一时之间，他的心都痒起来：“廖青山什么时候到啊？”
“后天，”顾松没管他的反应，继续和牛俊明讨论：“现在能买到精度最好的镜片是什么参数？咱们的师傅进一步打磨的话，精度能提高到什么级别？”
牛俊明半天说不出话，最后有点埋怨地说道：“你还是向上面打报告，看能不能调几个国手来参与课题。”
章儒京和牛俊明的心情是一样一样的。
好气哦，但还得陪他玩！
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田德宇点了点头：“说是过去处理流片和工艺的前期工作。我担心，沪海私底下提什么条件。”
柳良木沉吟了一会：“避免不了。武湖的基础确实比别人差，但芯火科技已经确定落户武湖，我们把该做的工作做好。先把规划好的地尽快安排程序，把基建工作做好。德宇，明天他的助理和负责筹建的廖总一起过来，这一趟考察，关系到厂区的设计规划什么时候能出来，要麻烦你协调好各单位了。”
“我会盯紧的。”
柳良木说道：“暂时先兼着这个工作，你挂帅光电产业带的规划，服务好芯火科技的尽快落地。相关课题的科研这一块，还要组织武湖的科研院所研究一下，能不能尽量多参与一些。这件事关乎中湖百年发展，下一阶段还有更重的担子要交给你。”
田德宇心中一动，平静地说：“这个事情我一定尽心尽责，不负省里的重托。”
柳良木停了一下，问道：“顾松有没有提到，什么时候回中湖？”
“说是沪海行程结束后，会回燕京一趟，参加完公司年会就回永宁。时间估计是20号左右。”
“只有半个月啊……”柳良木蹙着眉头，说道，“芯火科技的奠基赶得上这个时间吗？”
“公司注册的程序、土地拍卖的程序……我来组织吧。”田德宇估摸了一下，还是点了点头。
“好，趁此机会，要把光电产业带的初步规划思路向领导汇报。王邦元老很重视这个项目，不说今年能投产的话，今年内，芯火科技需要建好。争取明年这个时候，光电产业带有一个新的面貌。”
田德宇笑了笑说：“那永宁那边也需要加把力了。”
柳良木也露出笑容来：“这就看永宁班子的能耐了。顾松是家乡人，他在中湖的规划不少。有些能先落地的，可以开始考虑嘛。”
“回头我和他们聊一聊。”
……
中湖那边担心沪海对顾松有其他拉拢的手段，顾松其实一直泡在沪海微电子装备和华芯国际。
关于浸润式光刻的技术难题，顾松脑子里自然有全套解决方案。
不管是浸润液体的种类，还是浸没方式、气泡消除、污染沉积，都有办法能够解决。
但问题是大数值孔径投影物镜和偏振光的控制。
这两个问题，就涉及到整个光刻机中最昂贵最复杂的部件了。
几十片各种规格的镜片，每一片都得用高纯度透光材料进行高质量抛光，镜片表面稍微有一点曲度不对，或者镜片里的杂质产生衍射折射不对，再聚焦后的图像缺陷会成倍放大。
且不说对镜片材质和加工精度的事，这玩意，采用传统的方式，不论镜头数量如何堆叠、如何搭配，都难以达到浸润式光刻所需要的孔径。
但折反式投影物镜，就更复杂多了。
顾松倒是能给出图纸，但问题是现在造不出来。镜片的研磨、其他零部件加工和组装的精度，都达不到那个水平。
这玩意，难就难在精度。有人曾打过比喻，说相当于两架大飞机从起飞到降落，始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀，在另一架飞机的米粒上刻字，不能刻坏了。
真实的情况比这还要夸张，这可是纳米级的操作，头发丝千分之一的尺度啊。
达到这种精度的镜片，都是手工打磨。一个镜面的表面被分为数万个点，每个点的误差在十位数的纳米级别。
绝对的圣手！
阿斯麦尔也不是万能的，他也是到处采购最好的零部件，最后集成起来的。但问题是，这些最好的零部件，他没法采购到啊。
脑子里是有黑科技全书，可这玩意没办法直接操刀加工。
反倒是偏振光的控制，相对还简单一些，虽然也是非常精密的设计和加工。
“牛总，如果我能给出全套的设计图纸和工艺方案，你们对镜头加工和组装有把握吗？”
牛俊明确认道：“全套设计图纸和工艺方案？”
顾松不管他的反应，只管肯定地点头。
牛俊明脸上神色变幻，最后咬牙说道：“这个只能堆人力了，靠数量来拼。”
这也是事实，顾松也没办法苛求：“好，这是一个专门的课题。只要这一关过去了，浸润式光刻需要的投影物镜和供液装置就突破了。”
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章儒京觉得脚很软：“非得动投影物镜吗？这玩意坏了，就相当于整台机器废了啊。”
顾松叹了一口气：“怪不得研发这玩意烧钱，15亿太少了，光一台光刻机都烧不出来。”
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“你设计做好了？”
顾松奇怪地看着他：“定好了这个流片规格，设计当然做好了。”
章儒京吸着凉气：“你这个实验室里真不是人，不是光工艺理论弄清楚了？连240纳米制程的存储芯片都设计好了？设计容量有多大？”
“流片的这枚简单点，存储单元8层，封装4层，单颗4g的容量。”
“4g……”章儒京喃喃失语，这可是在250纳米制程下做出来的容量。
180纳米的呢？130纳米的呢？单颗容量不得32g？
现在量产的顶级闪存才512m，03年能量产1g的不？
u盘用的低级闪存，主流的才64m、128m啊！
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一时之间，他的心都痒起来：“廖青山什么时候到啊？”
“后天，”顾松没管他的反应，继续和牛俊明讨论：“现在能买到精度最好的镜片是什么参数？咱们的师傅进一步打磨的话，精度能提高到什么级别？”
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